번호 | 제목 |
---|---|
18 |
원자층 증착 공정의 증착 온도에 따른 Hf0.5Zr0.5O2 박막의 분극 반전 특성에 대한 영향 이동현, 박민혁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
17 |
원자층 증착 공정으로 형성된 SnO2 박막에 대한 Al2O3 슈퍼사이클 효과 김지웅, 이왕곤, 안영환, 김지수, 서형탁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
16 |
원자층 증착 공정(Atomic Layer Deposition)의 유용성 확대 현황 및 전망 김도형 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
15 |
Super-Cycle 기반의 ALD TaAlN 금속 박막 형성 및 특성 최문석, 이주현, 김민혁, 김위남, 최창환 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
14 |
고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구 변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
13 |
칼슘 셀 테스트를 이용한 Al2O3/ZrO2 Nanolaminates 기판의 차폐특성 분석 및 성능 평가 안연선, 이종걸, 김만수, 김성수, 김영철 한국고분자학회 2012년 가을 학술대회 |
12 |
Cyclopentadienylcobalt dicarbonyl을 이용한 Cobalt Oxide 박막의 저온 원자층 증착 공정 최규하, 진광선, 한별, 이원준 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
11 |
TiO2 형상에 따른 유기태양전지 효율 특성 변화 연구 김용안, 김도형, 조현수, 최하나, 김경곤 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
10 |
N2/H2 plasma를 이용한 Co 원자층 증착 공정 및 물성 윤재홍, 김도영, 김형준 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
9 |
건식/습식 연속공정을 이용하여 성막된 ZnO의 결정성과 표면특성 정하나, 김도형 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |