| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes 유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes 유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |