| 번호 | 제목 |
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펨토초 레이저 펄스를 이용하여 환원된 그래핀의 최적 선폭 패턴 구현에 관한 연구 정태인, 박종균, 이현수, 김산, 이진경, 김세현, 류하나, 김승철 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 20 |
Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
| 19 |
Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
| 18 |
Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
| 17 |
A cyclic process to control the diameter of SiO2 contact holes 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 16 |
LDS소재의 레이저 처리 공정 변수에 따른 패턴 관측 양종욱, 유명재, 임호선 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
| 15 |
Reduction of contact hole diameter by alternating etching and deposition using a fluorocarbon plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
| 14 |
Control of the contact hole diameter using inductively coupled fluorocarbon and hydrocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
| 13 |
인터포저에 적용할 관통형 실리콘 전극 형성에 관한 연구 장재권, 임승규, 서수정 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
| 12 |
차세대 적층 소자로의 응용을 위한 Solid Phase Epitaxy 공정에 관한 연구 정한욱, 이공수, 김광렬, 최병덕 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
