번호 | 제목 |
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7 |
Area Selective ALD of Al2O3 using Self-Assembled Monolayers 이승우, 어웅선, 조성민, 김찬호 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
6 |
Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers Jeongbin Lee, Jinseon Lee, Jeong-Min Lee, Tae Joo Park, Woohee Kim 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
5 |
Atomic Level Patterning Process of SiO2 Thin Films for Advanced Nanoelectronics Jinseon Lee, WooheeKim, Tae Joo Park 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
4 |
Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor Jeong-Min Lee, Ji Won Han, Tae Joo Park, Woo-Hee Kim 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
3 |
Vertically Selective Pt Deposition on 3D Nanostructures by Ion-Implantation and Atomic Layer Deposition 김우희, Stacey F. Bent 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
2 |
선택적 영역 원자층 증착법의 표면 반응 메커니즘 및 선택비 향상을 위한 공정 개발 오일권, 김형준 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
1 |
선택적 영역 원자층 증착법을 이용한 Al2O3 나노 박막 및 반응 메커니즘 연구 오일권, 김형준 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |