화학공학소재연구정보센터
번호 제목
7 Area Selective ALD of Al2O3 using Self-Assembled Monolayers
이승우, 어웅선, 조성민, 김찬호
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
6 Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers
Jeongbin Lee, Jinseon Lee, Jeong-Min Lee, Tae Joo Park, Woohee Kim
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
5 Atomic Level Patterning Process of SiO2 Thin Films for Advanced Nanoelectronics
Jinseon Lee, WooheeKim, Tae Joo Park
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
4 Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor
Jeong-Min Lee, Ji Won Han, Tae Joo Park, Woo-Hee Kim
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
3 Vertically Selective Pt Deposition on 3D Nanostructures by Ion-Implantation and Atomic Layer Deposition
김우희, Stacey F. Bent
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
2 선택적 영역 원자층 증착법의 표면 반응 메커니즘 및 선택비 향상을 위한 공정 개발
오일권, 김형준
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
1 선택적 영역 원자층 증착법을 이용한 Al2O3 나노 박막 및 반응 메커니즘 연구
오일권, 김형준
한국재료학회 2017년 봄 학술대회