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Atomic layer deposition of Ru thin films using novel Ru(Ⅱ) precursor with enhanced reactivity
오승훈, 여승민, 박현빈, 박태주, 정택모, 엄태용
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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2-Dimentional Perovskite Oxide Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition for High-k Application
Seung Won Lee, Jeong-Hun Choi, Hyo-Bae Kim, Ji-Hoon Ahn
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product
조현철, 정재경
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Selective and localized nanosecond UV laser annealing for amorphous TiO2 thin film: Transform to rutile phase, higher dielectric constant and improve electrical properties.
안재원, 전우진
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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반도체 공정 미세화에 따른 Patterning 소재 개발 동향
김명수
한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
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반도체용 전자재료의 현황과 기회
김재현
한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
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그래핀 분리막을 통한 Mott Insulator의 멀티레벨 스위칭 특성
강현우, 고민환, 서형탁
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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The Development of High Temperature ALD_TiN
전진호, 박영훈
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Simple fabrication of thermally confined Phase Change Memory via polymer reflow process
Seungho Baek, Kwan Kim, Jaemin Park, Wonjoong Kim, Daihong Huh, Junho Jun, Pil-hoon Jung, Dong-woo Chae, Heon Lee
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Design of High Thermal Stability Perpendicular Magnetic Anisotropy Structure using Co2Fe6B2 and [Co/Pt]n Multilayers as Free Layer for Below 10-nm-scale Memory Cell
정선화, 전한솔, 최진영, Kondo Kei, 백종웅, 박재근
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
