| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
The preferred (200) orientation tetragonal phase of HfO2-Al2O3 thin films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 문형석, 주대권, 박판귀, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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The preferred (200) orientation tetragonal phase of HfO2-Al2O3 thin films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 문형석, 주대권, 박판귀, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |