| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
RuO2 MOCVD를 위한 TiN막의 ECR plasma 전처리|ECR plasma pretreatment of the TiN films for RuO2 MOCVD 이종무, 김대교, 엄태종, 홍현석 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
RuO2 MOCVD를 위한 TiN막의 ECR plasma 전처리|ECR plasma pretreatment of the TiN films for RuO2 MOCVD 이종무, 김대교, 엄태종, 홍현석 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |