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Carbon contents control of low-k material with methane plasma
송석휘, 정찬원, 김영준, 김종우, 권유림, 전형탁
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Rapid Synthesis of Silicon Oxycarbide (SiOC) Coating on Bismuth Nanoparticles in a Supercritical Fluid for Superior Lithium Storage
아니스, Winda Devina, 김재훈
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Structural and Electrical characteristics of Low-k Silicon Oxycarbide thin film deposited via Remote Plasma Atomic Layer Deposition
Yurim Kwon, Chanwon Jung, Jongwoo Kim, Suhyeon Park, Byunguk Kim, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 25 |
Film Characteristics of low-k SiOC deposited by Atomic Layer Deposition
권영균, 전형탁
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Scalable Fracture-free SiOC Glass Coating for Robust Silicon Nanoparticle Anodes in Lithium Secondary Batteries
최성훈, 정대수, 최장욱
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Atomic Layer Deposited Gate Spacer for New Memory Devices
이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 22 |
Characteristics of silicon oxy-carbide deposited by RPALD using OMCTS
이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Scalable Fracture-free SiOC Glass Coating for Robust Silicon Nanoparticle Anodes in Lithium Secondary Batteries
정대수, 최성훈, 최장욱
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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폴리페닐카보실란(poly(phenyl carbosilane))에서 유래한 SiOC/C 소재 제조 및 이의 리튬이온전지로서의 음극 특성
이윤주, 류지연, 노광철, 김수룡, 권우택, 신동근, 김영희
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
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Preparation and characterization of silicon oxycarbide derived carbon
연순화, Cekdar Vakifahmetoglu, Volker Presser, Paolo Colombo, Yury Gogotsi
한국공업화학회 2013년 봄 학술대회 |
