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혼합 전구체를 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착 공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of SrTiO3 Thin Films using the Mixed Precursors
허정식, 류현규, 조성일, 조용석, 문상흡|Jung Shik Heo, Hyun-Kyu Ryu, Sung il Cho, Yong Suk Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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Sr 산화막 제조용 Sr(DPM)2 의 열분해 특성|Thermal Decomposition Mechanism of Sr(DPM)2 for Fabrication of Sr-Oxide Films
문상흡|Sang Heup Moon
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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혼합 단일 유기 금속 화합물을 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of strontium titanate (SrTiO3) thin films using the mixed single metal complex
류현규, 허정식, 조성일, 문상흡|Hyun-Kyu Ryu, Jung Shik Heo, Sung il Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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LSMCVD 공정으로 제조한 BST 박막의 저온 결정화|Crystallization at Low Temperature of BST Thin Films Prepared by LSMCVD
박진, 정현진, 박승빈, 우성일|Jin Park, Hyun Jin Chung, Seung Bin Park, Seong Il Woo
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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금속 유기물 화학 증착 공정의 화학 반응 기구에 대한 실험적 관찰|Monitoring of Decomposition Behavior of Metal Oxide Precursors in Chemical Vapor Deposition
정찬화, 조성일, 문상흡|Chan-Hwa Chung, Sung-Il Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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Ba ( DPM )2 와 Sr ( DPM )2 의 열분해 특성 연구
류현규, 한재현, 문상흡
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
