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Photocatalytic activity of inverse opal TiO2 fabricated by ALD
김연홍, 임경택, 정 훈, 김도형
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Photocatalytic characterization of the TiO2 fabricated by atomic layer deposition using TDEAT and H2O2
석경석, 임경택, 김연홍, 정 훈, 김도형
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Atomic Layer Chemical Vapor Deposition and Characterization of Ti-silicate Gate Dielectrics Using Tetrakis-diethylamido Titanium (TDEAT) and Tetrabutoxyorthosilane (TBOS)
이승협, 이승재, 용기중
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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MO-CVD, ALD용 precursor의 분해 진단 표준화에 관한 연구
이지훈, 윤주영, 성대진, 신용현, 송희열, 문두경
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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TiN 유기금속 화학증착 공정을 위한 tetrakis-dimethyl-amino-titanium의 열분해특성에 관한 연구|Study on thermal decomposition of tetrakis-dimethyl-amido-titanium for TiN metal-organic chemical vapor deposition
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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Tetrakis (dimethylamido) titanium을 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서의 기상반응에 대한 연구|Study on the Gas Phase Reaction in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of TiN
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과|The Effects of H2 and N2 Plasmain Metal Organic Chemical Vapor Deposition of TiN using TDEAT
윤주영, 이시우|Ju-Young Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
