번호 | 제목 |
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2 |
Thermal stability and lifetime assessment of chemical deposition materials 허규용, 정고운 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
1 |
Thermal stability and reliability assessment of zirconium ALD precursor 허규용 한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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Thermal stability and lifetime assessment of chemical deposition materials 허규용, 정고운 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Thermal stability and reliability assessment of zirconium ALD precursor 허규용 한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |