번호 | 제목 |
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5 |
Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor 김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
4 |
New Spin-on Ultralow Dielectrics for reduced Plasma Damage 김원기, 김진옥, 조성민, 이희우 한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |
3 |
Packaging Integrity Review for Cu/low k applied wafer 유민 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
2 |
Effect of UV Precure on Physical Properties of Organosilicate Thin Films Containing UV Responsive Pendent Group 구형준, 차국헌 한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
1 |
Effect of UV Precure on the Organosilicate Thin Films Containing UV Responsive Pendent Group 구형준, 차국헌 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |