화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
4 New Spin-on Ultralow Dielectrics for reduced Plasma Damage
김원기, 김진옥, 조성민, 이희우
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회
3 Packaging Integrity Review for Cu/low k applied wafer
유민
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
2 Effect of UV Precure on Physical Properties of Organosilicate Thin Films Containing UV Responsive Pendent Group
구형준, 차국헌
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회
1 Effect of UV Precure on the Organosilicate Thin Films Containing UV Responsive Pendent Group
구형준, 차국헌
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회