| 14 |
Carbon contents control of low-k material with methane plasma
송석휘, 정찬원, 김영준, 김종우, 권유림, 전형탁
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 13 |
Effect of Post-annealing on low-k SiOCH Films deposited by PECVD
전재성, 허훈, 유은성, 김재훈, 정대용, 윤주영, 정낙관
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
| 12 |
Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
| 11 |
Gallium nitride based reflective structural colour printing
Trevon Badloe, 노준석
한국공업화학회 2018년 가을 학술대회 |
| 10 |
Structural reliability evaluation of low-k nanoporous dielectric interlayers integrated into microelectric devices
허규용, 브라이언 지원 리, 이호열, 최경근, 이문호
한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
| 9 |
Effect of Annealing in Low Oxygen Ambient on Self-Forming Diffusion Barrier with Cu-V Alloy Material.
강민수, 박재형, 한동석, 박종완
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
| 8 |
Low-k materials as passivation layer in display
임희은, 권준선, 유재원, 김도환, 곽영제
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |
| 7 |
Nanoporous SiCOH Dual Phase Films with Low Dielectric Constant, Excellent Thermal and Mechanical Properties
박종민, 공병선, 정희태
한국고분자학회 2012년 가을 학술대회 |
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New structure of ultra low-k materials using SiCOH/mesoporous SiO2 composite films with robust mechanical properties
박종민, 공병선, 정희태
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
| 5 |
Understanding Bonding Structure of Low K Transparent Dielectric Using Polyphenylcarbosilane
Yonghyeon Yu, Hyungsun Kim, Seongjin Hwang, Hyunsang Jung, Younghee Kim, Jeonghyeon Lee
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
