학술대회 목록보기 번호 제목 1 높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가안형주, 우지훈, 구예진, 이진균한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 1