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Development of Novel Microfluidic Cryo-EM Microchip for Structure Analysis of Nanomaterials 강민호, 박정원 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
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A study on the effect of reactive gases (N2/NH3) on silicon nitride thin films deposited with diiodosilane (SiH2I2) precursors 이백주 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Blotting-free micropatterned chip for cryo-TEM imaging of materials in native environments 이민영, 박정원 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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First principles study on selective etching of silicon nitride over silicon dioxide by phosphoric acid 박소용, 정현욱, 김준엽, 한병찬 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Pressureless Sintered Silicon Nitride Ceramics with Controlling α-β Ratio for Self-reinforcement Jung Hoon Kong, Ho Jin Ma, Wook Ki Jung, Do Kyung Kim 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Effect of Substrate Bias on SiNx PECVD Process 안세진, 조성민 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Atomic Level Patterning Process of SiO2 Thin Films for Advanced Nanoelectronics Jinseon Lee, WooheeKim, Tae Joo Park 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Universal surface reaction model for fluorocarbon plasma processes for silicon, silicon oxide, and silicon nitride substrate 오민주, 임연호, 유혜성, 박재형, 육영근 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Pressureless Sintering of Silicon Nitride Ceramics with High Thermal Conductivity and High Mechanical Strength 공정훈, 정욱기, 마호진, 김도경 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |