화학공학소재연구정보센터
번호 제목
85 Development of Novel Microfluidic Cryo-EM Microchip for Structure Analysis of Nanomaterials
강민호, 박정원
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
84 A study on the effect of reactive gases (N2/NH3) on silicon nitride thin films deposited with diiodosilane (SiH2I2) precursors
이백주
한국재료학회 2021년 가을 학술대회
83 Blotting-free micropatterned chip for cryo-TEM imaging of materials in native environments
이민영, 박정원
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
82 First principles study on selective etching of silicon nitride over silicon dioxide by phosphoric acid
박소용, 정현욱, 김준엽, 한병찬
한국재료학회 2021년 봄 학술대회
81 Pressureless Sintered Silicon Nitride Ceramics with Controlling α-β Ratio for Self-reinforcement
Jung Hoon Kong, Ho Jin Ma, Wook Ki Jung, Do Kyung Kim
한국재료학회 2021년 봄 학술대회
80 Effect of Substrate Bias on SiNx PECVD Process
안세진, 조성민
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회
79 Atomic Level Patterning Process of SiO2 Thin Films for Advanced Nanoelectronics
Jinseon Lee, WooheeKim, Tae Joo Park
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
78 Universal surface reaction model for fluorocarbon plasma processes for silicon, silicon oxide, and silicon nitride substrate
오민주, 임연호, 유혜성, 박재형, 육영근
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
77 SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition
Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회
76 Pressureless Sintering of Silicon Nitride Ceramics with High Thermal Conductivity and High Mechanical Strength
공정훈, 정욱기, 마호진, 김도경
한국재료학회 2019년 봄 학술대회