| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Tin oxo cluster-based Hybrid Organic-Inorganic Photoresist for EUV Lithography Yeo Kyung Kang, 김명길 한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |
| 1 |
높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가 안형주, 우지훈, 구예진, 이진균 한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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Tin oxo cluster-based Hybrid Organic-Inorganic Photoresist for EUV Lithography Yeo Kyung Kang, 김명길 한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |
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높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가 안형주, 우지훈, 구예진, 이진균 한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |