| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 고순도 공업용수 polishing stage의 막탈기장치 성능평가에 관한 연구 |
| 초록 | 반도체 공정에서 용존산소는 게이트 산화물 층 형성에 영향을 주며 구리 등의 금속 부식을 유발한다. 또한 UV-TOC 공정에서 용존산소는 다른 불순물인 과산화수소 생성의 주요 인자 중 하나이다. 이에 따라 초미세 공정에서는 용존 산소를 1 ug/L 이하로 제어할 필요가 있다. 고순도 공업용수 공정에서는 이러한 용존산소를 제거하기 위해 막탈기장치를 사용한다. 막탈기장치는 그 종류에 따라 수중에서 제거하는 가스가 다르기 때문에 성능평가법은 이를 모두 아우를 수 있어야 한다. 이에 따라 탈기장치, 진공탈기장치, 막탈기장치로 구분하여 성능평가방법을 정립하였으며 모드에 따라 용존산소 제거 성능을 평가하는 조건을 도출하였다. 이러한 성능평가법을 기반으로 향후 고순도 공업용수 막탈기장치 활용 시 성능평가 및 운용에 이바지하고자 한다. |
| 저자 | 방우혁, 이나래, 박승민, 박찬규 |
| 소속 | 한국산업기술시험원 |
| 키워드 | 고순도 공업용수; 막탈기장치; 진공모드; 스윕가스 모드; 성능평가 |
