학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2021년 가을 (10/27 ~ 10/29, 광주 김대중컨벤션센터) |
권호 | 27권 2호, p.2117 |
발표분야 | 재료 |
제목 | 광경화성 고분자와 금속 나노입자를 이용한 플렉서블 구리 미세회로 패턴 형성 |
초록 | 회로부품의 고성능화와 더불어 회로부품의 고집적화가 요구되면서 미세회로의 디자인 유연성을 높이고자 하는 다양한 방법들이 제안되고 있다. 이에 본 연구에서는 기존의 폴리이미드가 아닌 플렉서블 PEEK 기판 위에 구리 미세회로를 직접 구현하고자 한다. 광경화성 고분자와 금속 나노입자를 이용해 미세회로 패턴을 형성하고, 이 위에 구리 배선을 직접 무전해 도금함으로써, 플렉서블 PEEK 기판 위에 신뢰성 높은 구리 미세회로 패턴을 형성할 수 있었다. 그리고 PEEK 기판의 표면처리, 광경화성 고분자의 제조 조건, 나노입자의 표면처리 등이 구리 미세회로 패턴의 밀착력, 전도도 등에 영항을 미치는 것을 확인할 수 있었다. Keywords : 광경화 고분자, 금속 나노입자, 플렉서블, 미세회로 패턴 |
저자 | 최지혜1, 임하나2, 양찬우2, 이호년2, 김현종2 |
소속 | 1인하대, 2한국생산기술(연) |
키워드 | 화공소재 |
원문파일 | 초록 보기 |