화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2021년 가을 (10/27 ~ 10/29, 광주 김대중컨벤션센터)
권호 27권 2호, p.2117
발표분야 재료
제목 광경화성 고분자와 금속 나노입자를 이용한 플렉서블 구리 미세회로 패턴 형성
초록 회로부품의 고성능화와 더불어 회로부품의 고집적화가 요구되면서 미세회로의 디자인 유연성을 높이고자 하는 다양한 방법들이 제안되고 있다. 이에 본 연구에서는 기존의 폴리이미드가 아닌 플렉서블 PEEK 기판 위에 구리 미세회로를 직접 구현하고자 한다. 광경화성 고분자와 금속 나노입자를 이용해 미세회로 패턴을 형성하고, 이 위에 구리 배선을 직접 무전해 도금함으로써, 플렉서블 PEEK 기판 위에 신뢰성 높은 구리 미세회로 패턴을 형성할 수 있었다. 그리고 PEEK 기판의 표면처리, 광경화성 고분자의 제조 조건, 나노입자의 표면처리 등이 구리 미세회로 패턴의 밀착력, 전도도 등에 영항을 미치는 것을 확인할 수 있었다.

Keywords : 광경화 고분자, 금속 나노입자, 플렉서블, 미세회로 패턴
저자 최지혜1, 임하나2, 양찬우2, 이호년2, 김현종2
소속 1인하대, 2한국생산기술(연)
키워드 화공소재
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원문파일 초록 보기