| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2021년 가을 (10/20 ~ 10/22, 경주컨벤션센터) |
| 권호 |
46권 2호 |
| 발표분야 |
분자전자 부문위원회 Ⅰ,Ⅱ |
| 제목 |
Photoacid generator가 포함된 광경화성 전구체 기반 자가패턴 가능한 용액 공정형 Zinc Tin 산화물 트랜지스터 연구 |
| 초록 |
미세패턴을 하기 위해서는 보통 포토레지스트를 이용하여 패턴을 하지만 시간이 오래 걸리고 독성에 대한 문제가 많다. 본 연구진은 희토류 물질인 인듐을 대체하는 Tin을 사용하여 ZTO(Zinc Tin oxide)필름에 대해 연구하였으며 광 패턴이 가능한 전구체 용액을 사용하여 빠르고 독성이 적은 미세패턴화 된 ZTO박막을 제조했다. 이 결과 생성된 ZTO박막 트랜지스터는 적절한 온/오프 점멸비와 이동도를 나타냈으며 포토리쏘그래피 없이 패턴이 가능한 반도체를 제작하였다. |
| 저자 |
최건오, 안태규, 김재영, 정용진
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| 소속 |
한국교통대 |
| 키워드 |
transistor; Thin Film transistor; photo-patternable semiconductor
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| E-Mail |
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