| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/17 ~ 05/19, 목포 현대호텔) |
| 권호 | 23권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료 분과 |
| 제목 | 레이저 간섭 리소그래피를 이용하여 제작된 금속박막 나노구조체의 특성평가 |
| 초록 | 최근 크기는 작아지면서 효율이 높은 MEMS공정을 이용한 광전소자용 나노구조체의 제작 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 하지만 나노구조체의 광학해석 및 내구성 평가 연구가 부족한 실정이다. 본 연구에서는 장비의 낮은 비용과 높은 생산성, 대면적화 가능, 기판 선택의 자유로움과 마스크가 필요하지 않은 특징을 가지고 있는 레이저 간섭 리소그래피를 이용하여 금속박막 나노구조체를 제작하고 광 특성 및 내구성 평가를 위하여 해석연구를 진행하였다. 광 특성 연구는 제작 된 금속박막 나노구조체의 광 투과율 측정값과 비교하여 신뢰성을 확보하고 패턴의 크기 및 주기의 변화에 따른 광 특성을 분석하였으며, 나노금속박막에서 일어나는 표면 플라즈몬 현상에 의한 광학적 영향을 연구하였다. 또한 구조해석을 통해 대기압 상태에서 금속박막 나노구조체의 내구성을 확인하였다. |
| 저자 | 남병현, 정주영, 최진일 |
| 소속 | 한밭대 |
| 키워드 | <P>나노구조체; 레이저 간섭 리소그래피; 구조해석; 광학해석</P> |
