화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터)
권호 15권 1호
발표분야 정보.전자소재
제목 IZO(Indium Zinc Oxide) 기반 투명 플렉시블 박막트랜지스터 제작
초록 투명 전자소자는 투명한 특성을 이용하여 전자기기가 가지고 있는 공간적/시간적 제약을 해소하려는 목적을 가진 소자이며 투명 트랜지스터를 기반으로 한다. 투명 트랜지스터는 투명반도체, 투명절연체, 투명전도체로 구성된다. 본 연구에서는 높은 전계효과 이동도와 고투과도 특성을 가지는 산화물 기반 박막트랜지스터를 제작하였으며, 또한 각각의 층들을 투명 산화물 계열로 구성하였으며(Gate 및 S/D 전극 : ITO, 반도체 층 : IZO) 이들을 플렉시블한 필름 기판위에 제작하여 투명 플렉시블 박막트랜지스터를 구현하였다. 박막트랜지스터의 특성평가는 기존 반도체 특성평가 장비를 활용하여 측정, 조사하였다.
저자 김준우, 김근호, 이윤수, 이상문, 김보성, 박이순
소속 경북대
키워드 a-IZO; Thin Film Transistor; Flexible transparent TFT; OLED
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