| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 반도체 재료 |
| 제목 | SnO2 박막의 미세구조와 전기전도도에 관한 연구 |
| 초록 | N형 산화물 반도체인 SnO2는 투명전극과 태양전지, 가스센서 등으로 전기전자소자 분야에서 범용으로 활용 되고 있다. 특히, SnO2의 박막의 경우 투과율이 높고, 전기전도도의 우수한 특성을 가지고 있어 SnO2의 박막 형성에 따른 특성 연구과 활발히 진행 되고 있다. 본 연구에서는 Trichloroethylene, Acetone, I.P.A, D.I water 순으로 세정한 Glass 기판 위에 Thermal Evaporator를 이용하여 Sn을 증착하고 Tube Furnace와 RTA(Rapid Thermal Annealing)를 이용하여 O2 분위기에서 250℃~450℃로 열처리 하여 SnO2 박막을 형성하였다. 열산화 된 SnO2 박막을 XRD(X-Ray Diffractometry)를 통하여 SnO2의 결정성을 확인하고 SEM(Scanning Electron Microscopy)과 SPM(Scanning Probe Microscopy)을 이용하여 박막 형성에 따른 표면의 미세구조 변화와 표면 특성을 확인하였다. 또한 4-point probe를 이용하여 전기전도성의 변화를 확인하고 접촉각측정기를 통해 친수성을 확인하는 기초연구를 진행 하였다. |
| 저자 | 김명식, 홍진원, 배규식 |
| 소속 | 수원대 |
| 키워드 | SnO2박막; RTA; 미세구조; 전기전도도 |
