학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
권호 | 12권 1호 |
발표분야 | 전자재료 |
제목 | TMA 와 H2O 를 사용하여 나노 스케일로 alumina가 코팅된 BaMgAl10O17:Eu2+ 형광체 분말의 발광 특성(Luminescent Properties of BaMgAl10O17:Eu2+ Phosphor Coated with nanoscaled alumina using TMA and H2O) |
초록 | 현재 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 수요가 급증하고 있는 가운데 주목 받고 있는 것은 PDP용 형광체 분말의 특성 향상이다. 기존의 형광체 코팅법으로는 Sol-gel법과 CVD법이 주로 사용되어 왔으나, 산화막 코팅시에 형광체 분말간의 응집현상 및 형광체 표면의 불균일한 증착으로 인하여 형광체 분말의 발광 특성이 크게 향상되지 않았다. 본 연구는 PDP용 형광체 재료의 우수한 발광 특성을 얻기 위해서 코팅막 두께의 정확한 제어, 우수한 step-coverage 그리고 막의 균질성을 최대한 높이기 위해 원자층 증착법(ALD) 으로 Al2O3 산화막을 코팅하여 형광체 분말의 발광 특성 변화를 측정 및 분석하였다. 본 실험에서 쓰여진 형광체는 BaMgAl10O17:Eu2+ (BAM), blue phosphors가 사용되어졌고 precursor로는 MO source 인 trimethylaluminum (TMA)로, 액체 상태의 금속 유기물인 Al(CH3)3를 사용하고 reactant gas로는 H2O를 사용하였다. 코팅 전과 코팅 후의 BAM의 표면을 FE-SEM으로 관찰하여 비교 분석하였고, 또한 cycles 수에 따른 입도 분석 결과 cycles 이 증가할수록 입자의 크기가 거의 일정하게 증가되었음을 확인 할 수 있었다. 형광체 표면에 코팅된 박막의 EDS 정성·정량 분석에서 uncoated 보다 공정 cycles가 증가할수록 Al의 양이 비례적으로 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. 광학적 특성은 PL intensity를 측정한 결과 500cycles가 가장 높은 휘도 값을 나타내었다. 코팅 전과 500cycles의 코팅 후의 형광체 분말의 휘도 값을 비교해 보면 각각 12.61cd/m2 , 17.15cd/m2이다. 코팅 전과 비교하면 약 36%의 휘도가 향상되었다. 3000시간동안 lifetime을 측정한 결과 uncoated 형광체의 기울기가 다른 코팅한 형광체보다 급격히 떨어지는 것을 확인 할 수 있었다. 이러한 결과로 적정 두께의 Al2O3 코팅막은 광 흡수를 최소화하며 형광체의 표면의 surface defect를 줄임으로 광 효율을 증가시킴을 확인 할 수 있었다. |
저자 | 김혁종, 김형수, 김휴석, 정영규, 김석환, 이상우, 최병호 |
소속 | 금오공과대 |
키워드 | 형광체; ALD |