| 초록 |
화학저항식 가스센서는 우수한 감도, 높은 안정성, 빠른 응답 특성 및 가격경쟁력 등으로 다양한 가스를 감지하는데 사용되는 매우 인기있는 감지 장치 중 하나이다. 그리고 가스 센서에 사용되는 다양한 물질 중 SnO2 나노선은 높은 표면적, 높은 안정성 및 저비용 등의 장점들로 인해 광범위하게 사용되지만, 성능 개선의 문제점이 있다. 이러한 센서의 감지 능력을 향상시키기 위해 귀금속 기능화, p-n 이종접합, UV 조사 및 이온 식재와 같은 다양한 전략에 제안되고 있다. 그리고 안티몬 (Sb)은 SnO2에서 높은 n형 전도성을 이루기 위해 가장 널리 사용되는 도펀트 중 하나이다. 그러므로 본 연구에서는 Sb 이온 식재된 SnO2 나노선의 가스 감지 성능을 조사하였다. 제작된 센서는 최적 온도 및 가스별로 측정을 진행하였으며, 최종적으로 300도 및 NO2 가스에서 가장 높은 감응도를 가지는 것을 확인하였다. 이러한 센싱 결과에 바탕하여 Sb 이온에 의한 전자 농도 변화 및 표면 결함 발생을 기반으로 관련 감지 메커니즘을 제시하고자 한다. |
