화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2016년 봄 (05/18 ~ 05/20, 여수 디오션리조트 )
권호 22권 1호
발표분야 D. 구조 재료 분과
제목 Sealing용 불소계 O-ring 국산품 및 수입품의 기계적 특성
초록 O-ring은 원형의 횡단면을 가진 ring형태로 기계의 고정부나 운동부에 적용되어 유체 또는 가스의 손실을 방지하는 부품이다. O-ring 중 불소계 O-ring은 내식성, 내약품성 등이 우수하여 반도체 제조장비 Sealing용 O-ring 등에 사용된다. 그러나 국내제품의 경우 해외제품에 비해 사용수명이 30%정도 밖에 되지 않아 특성 개선이 필요한 실정이다. 따라서 본 연구는 상용되고 있는 국내제품과 수입제품 O-ring의 성분 및 경도 값을 비교하였다. 성분분석을 위해 EDS, X-선 회절분석을 실시하였으며, 기계적 특성 비교를 위해 쇼어경도(A Scale)를 측정하였다.
EDS 성분분석 결과, 수입제품이 국내제품에 비해 카본블랙 함량이 4.61% 높게 검출되었다. X-선 회절분석 결과, 수입제품과 국산제품 모두 같은 종류의 화합물(C, Ca(OH)2, MgO, Si, F)이 확인되었다. 또한 쇼어경도(A Scale) 측정 결과 수입제품이 국내제품에 비해 경도가 높게 측정되었으며, 이는 보강제인 카본블랙의 영향으로 판단된다. 향후 카본블랙 함량을 달리하여 특성이 우수한 O-ring을 개발 할 예정이다.
저자 이상혜1, 노재승1, 강동수1, 이상민1, 백운경1, 오성문1, 조현삼2
소속 1금오공과대, 2선우엔지니어링
키워드 <P>Sealing; O-ring; 불소계 고무; 카본블랙; 쇼어경도(A Scale)</P>
E-Mail