| 초록 |
잉크젯 프린팅공정은 박막 트랜지스터를 제조하는 대표적인 저비용 생산 기술이다. 잉크젯 프린팅 공정을 이용하여 도체층(Active layer) 및 직접 채널영역 및 게이트, 소스&드레인의 접점을 형성함으로써 제조 공정을 단순화 할 수 있다. 박막트랜지스터의 핵심역할을 하는 반도체층은 주로 무기물 계열의 화합물 반도체가 미세가공이 용이하고 소자특성이 안정적인 장점을 가지고 있어 많이 사용되고 있다. 대표적인 무기물 계열의 화합물 반도체인 ZnO의 경우 넓은 밴드갭(3.4eV)으로 인해 투명한 특성을 지니며 낮은 온도에서 성막하여도 높은 이동도를 얻을 수 있는 장점 때문에 최근 박막 트랜지스터로의 응용에 큰 관심을 끌고 있다. 하지만 순수한 ZnO박막의 경우 대기 중 장시간 노출되었을 경우, 산소의 영향으로 인한 산화로 인해 전기적 특성이 변하는 문제가 있다. 이러한 단점을 보완하기위해 분순물인 S를 도핑함으로써 전하 농도 및 전기전도도를 높여 주어 전지적 특성을 좀더 향상 시킬 수 있다. 본 연구에서는 박막 트랜지스터의 반도체층으로 사용되는 Zn(O,S) 잉크를 박막의 성장속도 및 온도조절을 통해 두께 제어 및 입자크기 조절에 용의한 연속흐름반응기 (CFR)방법을 이용하여 제조하였고, 제조된 잉크는 프린팅 공정을 통해 박막트렌지스터의 반도체층을 제조하는 실험을 수행하였다. |
