| 초록 |
나노선, 나노튜브와 같은 1차원 나노구조는 기계적으로 유연하고 광학적으로 투명한 성질을 가지고 있으며, 이를 기반으로 다양한 소자가 개발되고 있다. 나노선 소자를 제작하는데 있어 나노선의 방향을 결정하는 기술은 매우 중요하며, 채널로 사용되는 나노선을 반도체 소자 내 의도된 곳에 위치시키는 것은 많은 어려움을 가지고 있는 기술이다. 이를 해결 하기 위한 정렬법으로 전기영동을 비롯한 다양한 연구가 진행되고 있다. 기존의 전기영동법은 나노선을 포함하고 있는 용액을 전기장이 형성되어 있는 곳에 떨어뜨려 나노선들을 전극 사이에 위치 시키는 방법이다. 그러나 이 방법은 공정 중에 용액이 증발되고, 이에 따라 용액 내의 나노선의 농도가 변하는 등 변수들을 통제하는데 어려움이 있다. 본 연구에서는 기존의 전기영동법을 응용하여 실리콘 나노선을 포함한 다량의 용액을 계속적으로 교반시키고, 용액 내에 소자를 위치시켜 일정 농도의 나노선이 전기장에 의해 정렬될 수 있게 하였다. 또한, 정렬된 나노선을 직접 인쇄를 통해 트랜지스터로 제작하였으며, Ion/Ioff ratio, threshold voltage, hole mobility 등의 전기적 특성을 평가하였다. |
