| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 다분산 콜로이달 실리카 제조 및 균질도에 관한 연구 |
| 초록 | 반도체 및 LED 부품소자와 디스플레이용 패널 등을 제작하는데 사용하는 초순수 공업용수의의 엄격한 품질관리를 위하여, 입자계수기를 이용하여 초순수 공업용수를 관리하고 있다. 그리고 이러한 측정 장비는 수시점검 및 정기적인 교정을 필요로 한다. 이러한 배경으로 선형성의 정확정밀도 확인을 위한 콜로이달 실리카 인증표준물질 또한 그 수입되는 수요가 확대될 수밖에 없는 실정이므로, 콜로이달 실리카에 대한 국내개발과 제작보급이 필요하다. 본 연구에서는 100 nm 크기의 다분산된 콜로이달 실리카를 제조하였으며, 그에 대한 균질성을 확보하였다. |
| 저자 | 박승민, 이나래, 방우혁, 박찬규 |
| 소속 | 한국산업기술시험원 |
| 키워드 | 초순수; 반도체; 파티클; 콜로이달 실리카; CRM; 인증표준물질 |
