| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 고순도 공업용수에 포함된 UREA 분석방법에 관한 연구 |
| 초록 | 고순도 공업용수는 순수보다 불순물이 적은 물로 유기물, 무기물 및 이온과 가스 등을 추가로 제거하여 석유화학, 철강, 전자, 반도체 및 전기분야에 광범위하게 사용되고 있다. 반도체 생산 공정에서 초순수 내의 urea는 극미량으로도 심각한 오염을 야기하여 반도체 수율과 장치 성능에 악영향을 미치는 것으로 알려져 있다. 따라서 반도체용 고순도 공업용수의 수질 요건 (ASTM D5127-13)에서는 urea를 포함한 TOC 농도를 5 μg/L 이하로 규정하고 있다. urea와 같은 난분해성 미량 물질은 저농도에서 측정 및 분석이 매우 어렵지만, LC/MS, LC-OND 및 IC-MS/MS를 통해 분석이 가능하다. 본 연구에서는 LC/MS, LC-OND 및 IC-MS/MS를 통한 urea 분석법, 측정한계 등을 비교하여 최적의 분석법을 선정하여 미량의 오염물질을 관리할 수 있는 기반을 마련하였다. |
| 저자 | 이나래, 박찬규, 박승민, 방우혁 |
| 소속 | 한국산업기술시험원 |
| 키워드 | UREA; 고순도 공업용수; 초순수 |
