화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1995년 봄
권호 1권 1호, p.860
발표분야 재료
제목 LPMOCVD 에 의한 Nb2O5 박막성장의 반응공학적 모델링
초록
저자 정상철, 이마이시 노부유끼, 박흥철
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