학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
권호 | 25권 2호 |
발표분야 | G. 나노/박막 재료 분과 |
제목 | ZnO의 형상에 따른 가스센서의 특성변화 연구 |
초록 | 최근 환경개선에대한 관심이 증가함에 따라 가스센서에 대한 연구가 진행되고 있으며 이 중 소형화와 동시에 낮은 소비 전력, 높은 감도의 특징을 갖는 금속산화물 반도체형 가스센서에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 금속 산화물 반도체 중 ZnO는 exciton binding energy가 60 eV로 크고 밴드 갭 에너지가 3.37 eV로 큰 n형 반도체로 ZnO 가스센서의 가스 감지 특성은 감지막 표면의 미세 구조(입자의 크기, 다공성, 막 두께 등)에 크게 의존한다. 본 연구에서는 전구체인 zinc acetate의 농도와 합성시간을 변수로 두고 수열합성법을통해 여러 형상의 ZnO를 합성하였다. 형상에 따른 성장메커니즘을 확인하기 위해 SEM과 XRD, TEM분석을 진행하였다. BET를 이용한 비표면적 측정 및 probe station을 이용한 물질의 gas sensor 감도를 측정하여 flower-like형상의 ZnO가 gas sensor 물질로 가장 적합함을 확인하였다. |
저자 | 신세희, 송주미, 노재철, 서수정 |
소속 | 성균관대 |
키워드 | <P>gas sensor; ZnO; specific surface area; flower-like </P> |