| 초록 |
박막 Si 태양전지의 원료나, 차세대 박막 트랜지스터의 원료로 사용 가능한 a-Si (비결정질 실리콘)의 출발 물질로 사용 가능한 하이드로폴리실란의 합성과 응용에 관한 연구이다. 이러한 하이드로폴리실란은 유기 치환기가 없는 사염화규소를 알칼리금속 등을 사용한 환원법으로 합성하였으며 이의 용매 용해성 및 열가공성을 이용하여 박막으로 처리한 후 열분해를 거쳐 a-Si의 형성을 얻을 수 있었다. 기존 Si-H4를 이용한 a-Si의 경우 낮은 Electron mobility (전자이동도)에 의한 차세대 디스플레이인 Ultra Definition Display에 부적합하지만 하이드로폴리실란을 이용한a-Si의 경우Solution process (Ink-jet printing, Slit coating, Roll-to-roll)가 가능하여 높은 공정생산성과 annealing후높은 결정화율에 의한 Electron mobility의 향상이 기대되며 차세대 디스플레이 및 반도체 소재로 활용가능성이 기대된다. |
