| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주) |
| 권호 | 23권 1호, p.262 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 단결정 실리콘잉곳 품질 향상을 위한 쵸크랄스키(CZ) 공정 도가니 내부의 최적화 자기장 적용 방식 설계 |
| 초록 | 최근 고효율 모듈의 수요가 늘어남에 따라 필수적인 재료가 되는 고품질의 단결정 실리콘 웨이퍼 역시 수요가 증가하고 있다. 또한 품질의 개선과 생산원가 절감에서 만족할 성과를 거두고 있어 앞으로도 태양광 시장의 큰 부분을 차지할 것으로 기대하고 있다. 현재 연구하고 있는 쵸크랄스키(CZ) 공정은 장비구축과 시험생산에 비용이 많이 들기 때문에 시뮬레이션 프로그램을 활용하여 결과 데이터를 누적한 후 실제 실험을 진행 하는 경우가 많으며, 특히 잉곳의 품질을 결정하는 주요 변수 Oi(산소농도)를 중심으로 연구를 진행하였다. 앞서 Oi(산소농도)를 낮추기 위해서 열효율 증대, 충진제, 실더의 형태, 회전주기 등 여러 변수를 연구하였었고 자기장이 실리콘 멜트에 영향을 끼쳐 결정화 반응 계면을 안정화 시킬 수 있는 문헌의 이론을 토대로 새로운 자기장 적용 시뮬레이션 모델을 구축하여 자기장의 흐름, 세기 등을 분석 하였다. 이후 자기장 데이터를 이용하여 실리콘 멜트에 어떤 영향을 주는지 CG-Sim 시뮬레이션을 통해 알아볼 계획이다. |
| 저자 | 조민제, 정재학, 정현준, 채강호, 조나영 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | 공정최적화 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
