| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2012년 가을 (10/11 ~ 10/12, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 37권 2호 |
| 발표분야 | 분자전자 부문위원회 |
| 제목 | 칼슘 셀 테스트를 이용한 Al2O3/ZrO2 Nanolaminates 기판의 차폐특성 분석 및 성능 평가 |
| 초록 | 본 연구에서는 전기적 칼슘 셀 테스트를 이용하여 폴리에틸렌나프탈레이트 (PEN) 기판 위에 플라즈마 원자층 증착공정 (PEALD)으로 증착된 Al2O3/ZrO2 나노라미네이트의 기체차폐특성을 분석하고, 수분투과 지연시간 (lag time)과 정상상태의 수분 투과 플럭스 (flux)를 이용하여 수분 투과률 (WVTRs) 측정 및 수분확산도 개념을 이용한 기체차폐특성을 각 층별로 정량화 하였다. 38 °C, 90% RH환경에서 Bare PEN 기판, PEALD공정을 이용한 Al2O3 단층 기판과 총 두께는 동일한 서로 다른 구조의 Al2O3/ZrO2 나노라미네이트 차폐막이 코팅된 기판의 차폐특성을 평가하였으며, 반복 적층수가 증가한 Al2O3/ZrO2 나노라미네이트 구조가 가장 우수한 차폐특성을 보였다. 이는 나노라미네이트 구조가 차폐막 내 수직으로 연속 성장하는 결함을 효율적으로 차단한 결과로 판단된다. |
| 저자 | 안연선, 이종걸, 김만수, 김성수, 김영철 |
| 소속 | 경희대 |
| 키워드 | flexible substrates; WVTRs; Calcium cell test; nanolaminates |
