| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | IC를 이용한 반도체 폐수 내 TMAH 분석법 개발에 관한 연구 |
| 초록 | 반도체 및 전자부품 제조 시설의 폐수 발생량은 전체 업종 중 1위이며, 꾸준히 증가하고 있다. 반도체 제조 공정에서 방대한 양의 정제수를 사용하고 있어 물 보안은 반도체 회사의 지속 가능성에 대한 주요 위험 요소 중 하나로 인식되고 있다. 이에 반도체 폐수 재이용을 통해 공정에 사용되는 물 확보 및 폐수 발생량 감소가 요구되고 있다. 반도체 가공 공정에서 현상액으로 많이 사용하는 TMAH에 포함된 유기질소 성분은 제거가 어려워 폐수처리 및 재이용을 어렵게 한다. TMAH를 분석하는 방법은 존재하나 표준화된 방법이 없어 측정값의 정확도 및 정밀도를 확인할 수 없다. 이에 본 연구에서는 전도도 검출법을 사용하는 이온크로마토그래피(IC) 분석법을 선택하여 폐수 내 난분해성 유기물질인 TMAH 분석방법을 정립하고 측정 방법에 따른 LOD, LOQ 제시, 분석방법에 대한 측정 불확도 산출을 통해 발생하는 폐수의 정확한 농도와 처리 폐수의 농도를 파악할 수 있는 기반을 마련하였다. |
| 저자 | 이나래, 방우혁, 박찬규, 박승민 |
| 소속 | 한국산업기술시험원 |
| 키워드 | TMAH; 반도체폐수; 난분해성물질; 물재이용; 이온크로마토그래피 |
