| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, BEXCO(부산)) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 고분자 |
| 제목 | Large scale growth and applications of SWCNT |
| 초록 | 단일겹 탄소 나노튜브 및 이를 이용한 전자소자는 우수한 특성과 다양한 응용성을 내재하고 있다. 탄소 나노튜브 소자는 직접 기상증착법을 이용하여 제작하거나, 미리 성장된 탄소 나노튜브를 원하는 위치에 정렬하여 소자로 제작될 수 있는데, 기상증착법의 경우 기판의 크기가 커지면 대형 퍼니스를 필요로 하고 이에 따라 공정조건이 크게 변화할 수 있다. 대면적 기판에 탄소 나노튜브 트랜지스터를 제작하기 위하여 6인치 퍼니스를 이용한 단일겹 탄소 나노튜브 성장 공정을 연구하였다. 이 때 탄소 나노튜브 소자의 수율을 증가시키기 위하여 공정 simulation 및 퍼니스 구조에 대한 유체역학적인 계산을 시도하였다. 유체역학 simulation 으로 부터 얻은 결과를 바탕으로 6인치 퍼니스 내부에 가스의 흐름을 골고루 분산시킬 수 있는 샤워헤드 구조물과 가로막을 설치한 결과, 최적화 이전에 비해 트랜지스터의 수율이 30.5%에서 96.4%까지 증가함을 확인하였다. |
| 저자 | 이정오, 박세린, 장현주 |
| 소속 | 한국화학(연) |
| 키워드 | 탄소 나노튜브; 전계효과 트랜지스터; 기상증착법 |
