| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (04/20 ~ 04/23, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 28권 1호, p.175 |
| 발표분야 | [주제 11] 물환경기술 |
| 제목 | Photo-Fenton 시스템을 적용한 초순수 제조용 광산화 기술 |
| 초록 | 최근 전기전자 산업의 규모가 증가함에 따라 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 초순수의 수요가 늘어나고 있다. 원수는 초순수의 수질 조건을 충족하기 위해 정수처리, 역삼투압, 광산화 등 다양한 공정을 거치게 되는데, 이때 광산화 공정에서 발생하는 과산화수소가 문제가 될 수 있다. 광산화 공정의 경우 수중 용존유기탄소를 효과적으로 제거하기 위해 185-nm 와 254-nm 파장의 빛이 나오는 VUV/UV 램프를 사용하는데, 이 때 185-nm 빛에 의해 물이 분해되면서 발생되는 수산화라디칼이 재결합 하여 과산화수소가 생성된다. 과산화수소는 생산수에 잔류할 시 제품의 품질에 악형향을 줄 수 있다. 본 연구에서는 초순수 제조용 광산화 공정에 Photo-Fenton 반응을 적용하여 공정 중 발생하는 과산화수를 제거하고, Bulk phase에서의 수산화라디칼 생성을 가속화하여 유기물의 광산화 성능을 개선하는 방안을 제시하려고 한다. |
| 저자 | 임규승, 차동원, 이창하 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | 공정시스템(Process Systems Engineering) |
| 원문파일 | 초록 보기 |
