| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (04/06 ~ 04/07, 일산킨텍스) |
| 권호 |
31권 1호 |
| 발표분야 |
고분자 구조 및 물성 |
| 제목 |
마이크로 및 나노크기 미세 패턴 내에서 블록공중합체의 계층적 자기조립 구조 |
| 초록 |
하향식 리소그래피 공정으로는 마이크로 크기의 구조를 용이하게 제작할 수 있지만, 나노크기의 구조를 효율적으로 구현하기에는 한계가 있다. 최근에는 하향식 공정으로 형성시킨 마이크로 구조 내에 상향식 공정인 자기조립으로 나노구조를 유도하여, 하향식과 상향식을 접목시켜 마이크로 패턴에 나노구조를 효과적으로 구현하는 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 실리콘 웨이퍼 위에 스핀코팅으로 블록공중합체 박막을 제조하여, 마이크로 및 나노크기로 패턴된 PDMS스탬프를 이용하여 블록공중합체 박막을 각인시킴으로써 미세 패턴 내에서 블록공중합체 나노구조의 자기조립을 유도하였다. 계층적으로 형성된 미세 패턴 내의 나노구조는 AFM, FE-SEM, TEM으로 분석하였다. |
| 저자 |
김세희1, 전승민1, 권정화1, 박대호2, 정진철2, 차국헌1, 손병혁1
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| 소속 |
1서울대, 2포항공과대 |
| 키워드 |
블록공중합체; 계층적 구조; 자기조립; 패턴
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