| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2013년 가을 (10/23 ~ 10/25, 대구 EXCO) |
| 권호 |
19권 2호, p.1356 |
| 발표분야 |
공정시스템 |
| 제목 |
저가 고품질 단결정 실리콘 잉곳 생산을 위한 초크랄스키 공정 최적 설계 시뮬레이션 |
| 초록 |
반도체용 단결정 실리콘 웨이퍼 및 태양전지용 단결정 실리콘 웨이퍼의 80% 이상이 Czochralski(Cz) 법으로 생산되어 진다. 최근 산업에서는 제품의 경쟁력 확보를 위한 저가 고품질의 단결정 실리콘 웨이퍼 생산이 이슈가 되고 있다. 웨이퍼의 품질에 영향을 미치는 불순물 중 중요한 요소인 산소농도 제어를 통한 고품질 저전력 소비의 Cz공정의 최적설계를 찾기위해 CG-Sim 소프트웨어를 사용하여 실험하였다. Cz공정은 Hot zone 영역의 온도구배와 결정 성장속도를 어떻게 설정하느냐에 따라 결정 성장 시 잉곳의 결정 특성에 큰 영향을 미친다. 본 연구에서는 공정의 설계 인자 중 2가지 shield shape의 변경과 4가지 생산속도 조합을 통하여 산업에 적용될 수 있는 최적설계를 찾아내는 시뮬레이션 연구를 수행하였다. |
| 저자 |
정유진, 정재학
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| 소속 |
영남대 |
| 키워드 |
Single crystal silicon; Czochralski; Si-wafer; Simulation; CG-Sim
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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