학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
권호 | 25권 2호 |
발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
제목 | CO2 레이저를 이용한 이산화규소(SiO2) 환원 실험에 관한 연구 |
초록 | 이산화규소(SiO2)는 우리 주변에서 쉽게 구할 수 있는 물질로 실리콘(Si)의 원료 물질이다. 일반적으로 이러한 실리콘은 열탄소환원법(Carbothermal reduction method)을 이용하여 얻게 된다. 이 방법을 이용하면 많은 양의 실리콘을 얻을 수 있으나 이는 매우 오랜 시간이 걸려 생산된다. 본 연구에서는 열탄소환원법에 착안하여 열원으로 CO2 레이저를 이용하여 이산화규소의 환원 반응 실험을 진행하였다. 실험은 이산화규소와 카본의 몰 비율(mole ratio)과 CO2 레이저 빔 조사시간 등의 공정변수를 조절하였다. CO2 레이저 조사시간은 수 초에서 수 분 내에 실험되어 기존 열 탄소 환원법과 비교하면 매우 짧은 시간으로 실험이 진행되었다. 이산화규소가 환원되었는지 확인하기 위해 XRD(X-Ray Diffractometer) 분석법을 이용하였다. 분석한 결과 몰 비율에 따라 탄화규소(SiC)가 검출됨을 확인할 수 있었다. |
저자 | 맹석호, 이홍희, 이학주, 김성범 |
소속 | 강원대 |
키워드 | CO2 laser; Laser redution; Carbothermal reduction; SiO2 redution; SiC |