화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2012년 봄 (04/12 ~ 04/13, 대전컨벤션센터)
권호 37권 1호
발표분야 고분자구조 및 물성
제목 Analysis of Multi-Layer Materials using Raman Microscopy
초록 Raman 분광법은 물질의 화학조성, 분자구조 해석을 위해서 유용하다. Raman은 IR에 비해 단파장을 사용하기 때문에 공간 분해능이 뛰어날 뿐 아니라 Sampling이 필요로 하지 않으며 sample 두께에 대해 영향을 받지 않으므로 더 유리한 분석 방법이라 할 수 있다. 이 중 CRM(confocal Raman microscopy)은 시료 내부 정보를 얻을 수 있어 Multi-Layer의 분석 및 내부 이물 분석 등에 유용하게 이용할 수 있는 기법이다. 본 연구에서는 위와 같은 분석 방법을 이용하여 multi-layer 내에 위치한 5um 이하의 크기를 가지는 defect를 분석하였다.
저자 김지니다
소속 LG하우시스
키워드 raman microscopy
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