| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4937 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | OMVPE법에 의해 성장된 Sapphire 기판위의 GaN 박막의 특성 분석 |
| 초록 | 본 연구에서는 OMVPE법을 이용한 sapphire 기판의 방향성에 따른 GaN의 성장 과 더불어 성장된 박막의 광학적 특성을 평가하였다. 이를 통해, sapphire 기판의 배향에 따른, epi-layer의 특성변화를 비교·분석하고자 한다. |
| 저자 | 최진식, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
