| 초록 |
반도체 공정의 식각, 증착 공정에서 배출되는 과불화화합물은 지구온난화 지수가 높은 난분해성 물질로 대기뿐만 아니라 수질환경에도 영향을 끼치는 생태계 독성물질이다. 본 연구는 1947년부터 출원된 과불화화합물 관련 특허기술 정보를 기반으로 과불화화합물의 환경영향 저감 기술 동향을 분석하였다. 특허정보 검색은 특허청에서 제공하는 DB를 활용하였으며, 미국, 일본, 중국, 유럽, 한국 5개국에서 출원된 과불화화합물 관련 특허 기술을 조사하였다. 과불화화합물 관련 특허 기술은 총 372건이며, 그 중 74건(19.9%)이 환경영향 저감 기술로 개발되었다. 환경영향 저감 기술 특허 출원수는 한국 40건(54%), 일본 17건(23%), 중국 10건(14%), 미국 4건(5%), 유럽 3건(4%)으로 파악되었다. 이들 기술은 고온 분해, 막분리, 분리 회수, 수처리, 액체금속, 전기응집, 전자빔, 촉매분해, 플라즈마 분해, 흡착 제거 등 10개 분야로 세분화되며, 이 가운데 촉매 분해 기술이 26건으로 가장 많았다. 과불화화합물 환경영향 저감 기술은 대부분 촉매, 여과막, 플라즈마 등을 활용한 제거 기술로 구성되어 있으며, 오염 분석 및 모니터링 기술의 특허 출원은 전무하였다. |
