학회 |
한국화학공학회 |
학술대회 |
2022년 봄 (04/20 ~ 04/23, 제주국제컨벤션센터) |
권호 |
28권 1호, p.1435 |
발표분야 |
[주제 12] 화학공학일반(부문위원회 발표) |
제목 |
고체산 촉매의 에스테르화 반응을 이용한 HBM (Methyl 2-Hydroxyisobutyrate) 합성에 관한 연구 |
초록 |
HBM (Methyl 2-Hydroxyisobutyrate)은 반도체 제조 공정 중 PR (Photoresist) 공정에 사용되는 Thinner의 주성분으로, 반도체 산업이 성장함에 따라 수요 증대가 예상되는 고부가가치 물질이다. 현재까지 Acetone을 출발 물질로 하여 균일계 액체산을 이용한 다단계 반응을 통하여 HBM을 직접 생산할 수 있다고 알려져 있다. 그러나 균일계 액체산을 촉매로 이용하여 HBM 생산 시 반응기 부식, 다량의 고체 염 폐기물 발생 등 경제적, 환경적 문제점을 야기한다. 반면 불균일계 고체산 촉매는 촉매의 재사용, 분리공정 축소, 연속생산 공정의 용이성과 염 폐기물이 발생하지 않아 친환경적인 반응이 가능하다는 등의 장점이 있다. 따라서 본 연구에서는 다양한 불균일계 고체산 촉매들을 사용하여 HBA (2-Hydroxyisobutyric acid)의 에스테르화 반응을 통하여 HBM 생산을 시도하였다. 질소 흡⋅탈착 분석을 수행하여 촉매의 비표면적 및 기공 크기를 측정하였으며, NH₃-TPD를 통해 촉매 표면의 산 세기와 산량을 분석하였다. 이를 통해 촉매 비표면적 및 촉매 표면의 산특성과 촉매 활성의 상관관계를 규명하여 HBM 생산을 위한 고효율의 불균일계 촉매를 설계하고자 하였다. |
저자 |
김상원1, 윤지민1, 정민경1, 정헌도2, 정지철1
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소속 |
1명지대, 2한국에너지기술(연) |
키워드 |
촉매(Catalyst) |
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원문파일 |
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