| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 | 27권 1호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 | AZO 박막의 투명 기판의 종류와 RF 스퍼터링 파워 변화에 따른 전기적 ㆍ 광학적 특성 |
| 초록 | 본 연구에서는 AZO 박막을 Glass 기판과 PES 기판 위에 RF 스퍼터링 파워를 변화하여 증착시킨 후, 제작된 AZO 박막의 전기ㆍ광학적 특성을 조사하였다. Glass 기판과 PES 기판 위에 AZO 박막을 성장시키기 위해 Ar 가스를 50 sccm 주입하여 공정 압력을 5.0 × 10-3 torr로 유지하였고, 상온에서 스퍼터링 파워를 150 ~ 300 W 범위에서 변화시켰다. 박막의 특성을 X선 회절 (XRD), 홀 효과, 광루미네센스 (PL), 투과도를 측정하여 조사하였다. 모든 기판 위에서 AZO 박막은 c-축 방향으로 우선 배향되어 성장되었으며, RF 스퍼터링 파워가 증가함에 따라 XRD 회절선의 피크 강도가 감소하고 회절각 또한 감소하였다. 상온에서 측정된 PL 스펙트럼은 3.09 eV 부근에서 강한 강도의 에너지 갭 부근 발광이 검출되었다. RF 스퍼터링 파워에 따른 피크 위치의 변화는 관찰되지 않았다. Glass 기판위의 AZO 박막의 전자 농도는 RF 파워가 150 ~ 300 W의 범위에서는 2.34 x 1020 에서 1.25 × 1020 cm-3 로 증가하였다. PES 기판위의 AZO 박막의 전자 농도는 RF 파워가 150 ~ 300 W의 범위에서는 2.08 x 1020 에서 1.15 × 1020 cm-3 로 증가하였다. 비저항은 RF 스퍼터링 파워가 증가함에 따라 증가한다. Glass, PES 기판위의 AZO 박막 모두 가시광 영역 (400 ~ 780nm)에서 80% 이상의 투과율을 보인다. |
| 저자 | 이상익1, 강찬희2, 임규민1, 임상철2, 이택영1 |
| 소속 | 1한밭대, 2반도체소재부품장비센터 |
| 키워드 | <P>AZO; RF Sputter; XRD; Photoluminesecne; Hall Effect; Transmittance </P> |
