| 초록 |
산화물 반도체 가스센서는 높은 감도를 보이면서도 전력소모가 적어 널리 연구되어 왔다. 가스센서의 응용을 위해서는 높은 비표면적, 우수한 결정성, 기공도 및 분산성 등의 특성이 필요하다. 감응물질로 나노 크기의 산화물 미분말이 활발히 연구되어 왔으나, 미세한 나노 입자는 입자간의 Van der Waals 인력에 의해 응집되어 가스확산 및 가스감응을 저하시킨다. 이에 비해 중공구조 산화물은 가스의 확산성이 높고 분산이 용이하므로 가스감도 및 반응속도를 향상시킬 수 있어 SnO2, ZnO, WO3 및 In2O3 등 다양한 중공구조가 보고되어 왔다. 한편, 가스 선택성과 감도는 다양한 촉매를 첨가하여 향상될 수 있다. 본 연구에서는 글루코즈를 이용한 수열합성법으로 Cu, Nb, Pd, Ni 및 Sb 등 여러가지 촉매가 첨가된 In2O3 중공구조를 합성하고, NH3, H2S, H2, CO 및 CH4 등 5가지 가스에 대한 감응성 연구를 통해 촉매 첨가에 의한 선택성 및 감응특성의 변화를 고찰한다. |
