| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/17 ~ 05/19, 목포 현대호텔) |
| 권호 | 23권 1호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 | TiZrN 코팅의 탄소 도핑에 의한 표면 비정질화 및 기계적 특성 변화 |
| 초록 | 비정질 탄소로 이루어진 다이아몬드상 탄소(Diamond-like Carbon) 코팅은 우수한 내마모 성질로 인해 공업용 공구의 하드 코팅으로 사용되고 있으나 금속 모재와의 낮은 부착력이 문제가 되고 있다. 반면 최근 많은 관심을 받고 있는 질화 티타늄 (TiN) 코팅은 우수한 부착력을 가져 이러한 문제점이 해소됨과 동시에 TiN에 전이금속 (Zr, Al 등) 또는 탄소를 첨가하여 절삭가공의 극한 사용 환경에서 열적, 기계적 특성 향상을 도모하는 연구도 진행되고 있다. 본 연구는 내열 특성을 갖는 TiZrN 코팅층 표면에 탄소 도핑을 통해서 표면 탄소의 비정질화에 따른 내구성 향상에 초점을 맞추어 수행하였다. 탄소 도핑은 펄스 레이저 조사법을 이용하여 실시하였고, 탄소 도핑된 TiZrN 코팅층을 접속이온빔으로 절단 후 깊이 분포 (depth profile) 와 형상을 나노 구조 관점에서 비교 분석하였다. X-선을 이용한 회절 패턴 분석과 광전자 스펙트럼의 C 1s intensity 측정을 통하여 코팅층과 표면의 구조적 특징을 분석하였다. Tribometer 시험을 통해 표면 마모 저항성을 관찰하고 이를 이용하여 표면 비정질화와 마모 저항성과의 상관관계를 연구 고찰하였다. |
| 저자 | 김태우1, 전설2, 유현조3, 조익준4, 이희수1 |
| 소속 | 1부산대, 2국가기술표준원, 3위드엠텍, 4비알테크 |
| 키워드 | <P>탄소 도핑 TiZrN; 비정질 탄소; 나노 구조; 내마모성</P> |
