| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 가을 (11/15 ~ 11/17, 경주 현대호텔) |
| 권호 | 23권 2호 |
| 발표분야 | 1. 고속 데이터 처리를 위한 광학 재료 및 소자(Optical Materials & Devices for High-Speed Data Management) |
| 제목 | 나노 구조 및 광소자 응용 (다층 구조 실리콘 도파로에서의 광 신호 전송) |
| 초록 | 실리콘 포토닉스는 전기 배선을 대체할 수 있는 광 인터커넥트 기술로 주목을 받고 있다. 실리콘 도파로는 코어와 클래딩 간에 높은 굴절률차를 가지게 되며 그로 인해 고 밀도의 광소자를 제작 가능하다. 특히 a-Si:H은 300도 이하의 온도에서 증착이 가능하여 LSI Backend 프로세스에도 적용이 가능하다. 본 연구에서는 a-Si:H을 사용한 다층구조의 광회로를 목표로 Grating coupler를 이용한 신호 전송 소자를 설계, 제작하였다. Au 층으로 한쌍의 Grating coupler의 상하에 배치하여 높은 효율을 달성할 수 있었으며 계산결과에서는 약 90%의 결합 효율을, 제작한 소자에서는 80%의 결합효율을 측정 하였다. 위 소자에 최대 50Gbps의 신호를 전송하였으며 Eye 패턴의 열화없이 신호전달을 확인 할 수 있었다. 또한 광파이버와 실리콘 도파로간의 신호 전송을 위한 Grating coupler를 설계, 제작 하였으며 제작한 소자에서는 최대 70%의 효율을 달성하였다. |
| 저자 | 강준현, 한일기 |
| 소속 | 한국과학기술(연) |
| 키워드 | Grating coupler; a-Si:H; 50Gbps; Optical interconnect |
