화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교)
권호 15권 2호
발표분야 태양광웨이퍼 슬러지로를 이용한 고부가 소재화 기술
제목 실리콘 슬러지로부터 탄화규소 분말 합성
초록 태양광 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 실리콘 슬러지를 이용하여 탄화규소 분말을 합성하였다. 실리콘슬러지 및 합성된 탄화규소 분말의 특성은 XRD, FE-SEM, 화학성분 및 입도분석을 이용하여 분석하였다. 카본첨가 및 열처리 조건을 변화시켜 가면서 탄소규소 분말을 합성하였으며, 특성파악을 위해서 XRD, 화학성분, 입도분석 및 FE-SEM을 이용하였다.
저자 권우택, 김영희, 이윤주, 정은진, 김수룡
소속 한국세라믹기술원
키워드 탄화규소; 실리콘; 슬러지; 열처리
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