| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2020년 가을 (10/14 ~ 10/16, e-컨퍼런스) |
| 권호 | 26권 1호, p.964 |
| 발표분야 | 공정시스템 심포지엄(공정시스템부문위원회) |
| 제목 | 초크랄스키 단결정 성장로 고급제어 기술 |
| 초록 | 초크랄스키 단결정 성장로는 반도체와 태양광용 실리콘 잉곳을 생산하는데 가장 많이 사용되어 오고 있다. 여기서, 잉곳의 직경과 풀링속도 정밀제어는 버려지는 실리콘양을 최소화하고 잉곳의 품질과 생산량을 향상시키는데 있어 결정적인 역할을 한다. 그 중요성에 비해, 지금까지 사용되어 온 제어시스템은 상당히 오래되었고 사용된 제어로직들이 엉성하여 고성능을 보장하지 못하기 때문에 수율과 생산량이 낮을 수밖에 없다. 이전 제어시스템의 대표적인 문제점들로는 파워 저해상도, 테이블형 제어로직, Crucible표면온도의 측정오차로 인한 파워의 급변화, Crucible표면온도 앞먹임 설계의 한계, 직경측정의 오차 등이 있다. 본 발표에서는 이런 예전 제어시스템의 문제점들을 분석하고 이를 해결하기 위한 고급제어로직들을 소개하고자 한다. |
| 저자 | 성수환 |
| 소속 | 경북대 |
| 키워드 | 초크랄스키; 단결정 성장로; 제어; 잉곳 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
